加熱型旋轉涂覆儀采用全鋁合金腔體，美觀堅固。儀器采用先進的精密電機，轉速能達到10000轉/分，有效的保障了成膜的均勻性。除了基本的旋涂功能，本品還配有加熱組件，可以加熱到200℃，由智能溫控表控溫，溫度測定準確，升溫過程完全可控。另外本儀器采用觸控屏控制，可以預設勻膠曲線，大大簡化了使用過程降低了學習成本，十分適合實驗室選購。

加熱型旋轉涂覆儀適用范圍：

加熱型旋轉涂覆儀可以將液態(tài)或膠體材料涂覆在硅片、晶體、石英、陶瓷等基片上形成薄膜，主要應用于光刻膠旋涂、生物培養(yǎng)基制作、溶膠凝膠法制作高分子薄膜等領域。

加熱型旋轉涂覆儀技術參數(shù)：

	項目	明細
旋涂儀	供電電壓	AC220V，50Hz
	轉速	0~10000rpm
	加速度	100~5000rpm/s
	轉速分辨率	1rpm
	單步時間	3000s
	基片尺寸	直徑≤8英寸（200mm）
	腔體材質(zhì)	鋁合金
	加熱溫度	≤200℃
	控溫方式	AIP智能控溫
	操作方式	7寸高清LCD觸控屏
	滴膠方式	手動滴膠，可選購精密注射泵
	勻膠曲線	每條曲線5段，共可儲存5條曲線
	抽氣接口	φ6mm 快擰接口
	整機尺寸	290mm×365mm×300mm
	整機重量	12kg
排氣系統(tǒng)	真空泵	干式機械泵
	抽氣速率	50L/min
	供電電源	AC220V  50/60Hz

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