本設(shè)備為雙靶磁控鍍膜儀，可用于金屬薄膜的制備，在電子領(lǐng)域、光學(xué)領(lǐng)域、特殊陶瓷制備等領(lǐng)域均有應(yīng)用，也可實(shí)驗(yàn)室SEM樣品制備。

本套配置采用高真空不銹鋼腔體，前開(kāi)門(mén)式設(shè)計(jì)，門(mén)上配有石英觀察窗，便于實(shí)驗(yàn)的觀察記錄。同時(shí)設(shè)備配有旋轉(zhuǎn)加熱樣品臺(tái)，可以有效提高薄膜的均勻性和成膜的質(zhì)量。頂蓋上裝有一套擋板，可通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)擋板切換兩支靶，實(shí)現(xiàn)多層鍍膜。

本設(shè)備需要配合高真空分子泵組一起使用，用戶(hù)可以選擇進(jìn)口品牌小型分子泵以進(jìn)一步節(jié)省安裝面積。同時(shí)該型號(hào)可選配膜厚儀組件，可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)膜厚數(shù)據(jù)，為實(shí)驗(yàn)工藝提供可靠參數(shù)。

雙靶磁控鍍膜儀參數(shù)：

產(chǎn)品名稱(chēng)	桌面型不銹鋼腔體雙靶磁控鍍膜儀
產(chǎn)品型號(hào)	CY-MSZ210-I I -DCDC-SS
樣品臺(tái)	外形尺寸	φ60mm
	加熱溫度	≦500℃
	可調(diào)轉(zhuǎn)速	≦20rpm
磁控靶槍	配兩支2英寸磁控靶，靶材尺寸:直徑50.8mm，厚度≦3mm
真空腔體	腔體尺寸	φ210mm X260mm
	觀察窗口	全向透明
	腔體材料	304不銹鋼
	開(kāi)啟方式	上蓋拆卸式
真空系統(tǒng)	前級(jí)泵	低噪音雙極旋片泵
	分子泵	低噪音大抽速渦輪分子泵
	真空測(cè)量	復(fù)合真空計(jì)，量程:10-5~105Pa
	抽氣接口	KF16
	抽氣接口	KF40
	排氣接口	KF16
	系統(tǒng)真空	1.0×10-4Pa
	供電電源	AC 220V 50/60Hz
	抽氣速率	分子泵抽速600L/s，前級(jí)泵抽速1.1L/s
電源配置	電源數(shù)量	直流電源兩套
	輸出功率	500W
其他參數(shù)	供電電壓	AC220V,50Hz
	整機(jī)功率	2kW
	整機(jī)尺寸	550mm X 350mm X400mm